高纯度金属有机体
TEGA SSG是一种镓前体，用于沉积化合物半导体。
产品名称
TEGA SSG.化学家庭
高纯度金属有机体CAS号码
1115-99-7身体形态
液体化学名称
三乙基镓分子量
156.9应用程序
使用TEGa SSG作为镓前驱体，用于沉积用于激光二极管、传感器(VCSEL)、发光二极管(LED)和聚光光伏电池(CPV)等应用的化合物半导体。TEGa主要用于较低沉积温度的工艺。三乙基镓由不锈钢制成的钢瓶提供，钢瓶内部经过电抛光处理。钢瓶配有浸管和隔膜阀。隔膜阀配备金属垫圈vcr连接。
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